PTFE lined polokelo tanka bakeng sa hydrogen peroxide .

Product Core: Setshelo sa polokelo se bobebe seo se hlamilwego ka go lebanya bakeng sa hydrogen peroxide (H2O2). Jiangsu Rana e thwala semiconductor-mophato o fetotšwego PTFE liner, e fihlelela "seamless" kgomaretšo ka go fiša-go gatelela theknolotši ya motswako. Kganetšo ya oxidation ye e kgethegilego ya liner e thibela ka mo go atlegilego H₂o2 go bola ye e hlolwago ke kgokagano ya ion ya tšhipi (seelo sa go bola ka fase ga goba go lekana le 0.1%/ngwaga), go netefatša mahloriso a magareng a go tsepama.

Phadišano bohale: leveraging 28 lilemo tse bokgoni ka fluorine lintho tse bonahalang tlhahiso, rona setshelo linings bontša ikhethang anti-permeability (go tsenelela ka tlase ho kapa lekana le 0.001g / m2 · letsatsi). Di netefaditšwe ke SMIC, di boloka 30% ya H₂o2 ya go bola ga go tsepama ka fase ga goba go lekana le 0.5% mo mengwageng ye mebedi (ge go bapetšwa le 2% ya ditshelo tša polasetiki tše di tlwaelegilego). E hlametšwe dikgopelo tše di fapafapanego go akaretša le dinamelwa le polokelo ya nakwana, di-lining tše di kgotlelela go fetofetoga ga themperetšha go tloga go-40℃go ya go 150℃, go thibela ka mo go atlegilego dikotsi tša go dutla tšeo di bakwago ke diphetogo tša tikologo.

Sekopo sa Tirišo: E loketše go tswakwa ga magareng ga dihlare (mohlala, go lokišetša esiti ya peracetic), go hlwekiša ka elektroniki (mohlala, go tlošwa ga legato la oxide godimo ga diwafere tša silicon), le kalafo ya meetse a tikologo (mohlala, go tloša mmala wa meetse a ditšhila). Ka ge e hlanketše dikgwebo tša go swana le Boe le AUECC ka United States, e tšea legato la ditshelo tša setšo tša khalase/ceramic, go fokotša ditekanyo tša tshenyo ya dinamelwa go tšwa go 15% go ya go 2%, mola e netefatša Hra-O2 Bohlweki (Diteng tša ion tša tšhipi ka fase ga goba di lekana le 0.1ppb) go fihlelela dinyakwa tša godimo tša boleng bja ditaba{10}}mafelelo a boleng bja ditaba.

Dithegi tše di fišago .: PTFE lined polokelo tanka bakeng sa hydrogen peroxide, China PTFE lined polokelo tanka bakeng sa bahlahisi hydrogen peroxide, bafepedi, fektheri